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（一）磨镜时，操作者必须思想集中，精心工作。

（二）控制台开关操作须序：合上电闸→工作台润滑→机组启动→液压减重→工作台启动

→曲柄盘开动或快速磨盘开动（停机须序相反）。

（三）被加工镜子翻转时，注意主轴和电机、底脚螺丝、顶杆磨头等部件位置是否正确，

盘面刹紧螺钉是否紧固，经主操作人检查无误后，方可翻转。

（四）镜面翻转时，思想集中，随时观察镜子和钢带有无异常，接近90°时，应停止电动

翻转开关，改为手动，复位时相同（即90°改水平位置）。

（五）复位后，松开盘面刹紧螺钉，方可开动机器。

（六）起吊镜子和工具时，要有专人指挥，各负其责。

（七）保持机器清洁要求加油。

（八）发现机器有异常或出现故障报镜面室随时处理。

（九）发生事故应立即通知镜面室，并保护现场，听从处理。

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（一）起吊镜子和工具时，要有专人指挥，各负其责。

（二）操作前应检查保险防护装置是否可靠。妨碍转动的东西要清除。机器加油后先低速

运转。工量具不准放在横梁或刀架上。操作前要求各导轨经常加油。

（三）工件、砂轮及所用辅助工具要紧固，并经常检查以防松动。工件没夹紧前，只能点

动校正。严禁站在工作台上操纵按钮。

（四）发现机器有异常或出现故障报镜面室随时处理。发生事故应立即通知镜面室，并保

护现场，听从处理。

（五）使用的扳手必须与螺帽、螺栓相符。夹紧时用力要适当，以防滑倒。

（六）对刀前必须先开车，对刀应缓慢，砂轮距工件20-40mm应停止机动，手摇进给。

（七）加工偏重件时，要加配重铁，保持卡盘平衡。

（八）磨削过程中，不准测量工件，不准变换工作台转速。砂轮未退离工件前，不准停车。

（九）大型粗磨立车由二人以上操作，由主操作人统一指挥，加工过程中机床不准离人。

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（一）操作人员，必须熟悉机床结构、性能和使用要求，未经许可其他人不得使用。

（二）上班时，抬起摆杆，合上电源，暖机10分钟以上。

（三）装上工件磨具调节动程开始工作。

（四）使用工作时，注意机床是否有怪声异味，一旦发生故障，应立即停机检查，不得带

病工作，并请机修人员进行检修。

（五）变速箱内20号机油应注意保持一定油面高度。

（六）下班时，清扫机床擦洗油污。油杯、油孔、润滑导轨和上机油，手柄放在空档位

置，工夹磨具摆放整齐，关闭电源后方得离岗。

（七）如发生生产品设备事故，应保持现场，并及时报告室领导。

（八）50、40、60公分机器翻转时，须松开离合螺丝，复位时，锁紧离合螺丝。

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   根据WYKO干涉仪使用说明书的要求，同时为了确保WYKO干涉仪的检测状态良好和检测

结果的准确性，镜面室特制定如下校准规定：

1）、WYKO干涉仪需半年内做一次校准，现定为每年的一月前后、七月前后各校准一次，

同时做好校准记录。

  2）、WYKO干涉仪做一次校准需要两名人员参加，一名为专管人员，另一名为辅助技术

人员。

 3）、WYKO干涉仪做校准前干涉仪需提前开机一小时以上，根据说明书的要求以保证激

光器达到稳定状态。

  4）、根据说明书的要求，WYKO干涉仪的校准内容主要是移相器的90度的位相校准，移

相器90度位相精度决定了WYKO干涉仪的检测精度和检测结果的重复性。

  5)、WYKO干涉仪移相器的90度位相校准办法如下：

A、WYKO干涉仪做校准前提前一小时开机。

B、 将镜面室自备的透射平面、反射平面提前一天放到检测房稳定。

C、 根据说明书的要求调整平面反射镜，使得条纹达到满口径，条纹的数量在2~3条之间。

D、打开软件，点击90度位相校准按钮，再点击自动校准按钮，此时可看到校准结果，按

照WYKO干涉仪的要求，校准结果的有效点数应大于15000点，若达不到此要求，要检查气

垫

平台是否浮起、环境气流是否稳定等。所有外部环境达到最佳状态而校准结果的有效点数

还达不到要求时，校准人员应将结果打出，并报告镜面室的主管领导进行核准，属干涉仪

故障有镜面室上报研究所相关职能部门，同时要请厂方代理的技术人员进行检查、修理。

校准结果的有效点数大于15000点则达到规定要求，此时应将此校准结果打印出来，同时

做好相关的校准记录。

  6）、标准镜头是一完整的标准部套，不准私自拆卸或作它用，要做到防潮、防腐、防

霉，长期保持镜头干燥存放。使用时镜头应无霉、无腐。

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（一）禁止戴围巾、领带、手套上机，高速切削时要戴防护镜。

（二）装卸卡盘及大的工件具时，床面要垫木板，不准开车装卸卡盘，装卸工件后要立即

取下板手，禁止用手刹车。

（三）大、中、小拖板及床面上不得放置工量具或其它东西。

（四）装卸工件要牢固，夹紧时可用接长套筒。禁止用榔头敲打，滑丝的卡盘不准使用。

（五）加工细长工件要用顶针、跟刀架，车头前伸出部分不得超过工件直径的20-25倍，

车头后面伸出超过300毫米必须加托架，必要时装防护栏杆。

（六）用锉刀光工件时，应右手在前，左手在后，身体离开卡盘，禁止用纱布裹在工件上

砂光，应按照用锉刀的方法，成直线条装压在工件上。

（七）车内孔时，不准用锉刀倒角，用砂布光内孔时，不准将手指或手臂伸进去打磨。

（八）加工偏心工件时，必须加平衡铁饼，要坚固、牢靠，刹车不要猛刹。

（九）攻丝或套丝必须用专用工具，不准一手扶攻丝架或板牙架，一手开车。

（十）切大料时应留有足够的余量卸下砸断，小料切断时，不准用手接。

（十一）不准用手直接清除铁屑，不准在机床运转时，离开工作岗位，因故离开，必须停

车切断电源。

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（一）在合上总电源之后，确保真空室放气结束才能提升钟罩。

（二）合钟罩之前要检查晶体薄膜高度监控仪工作状态是否正常，如不正常须在合钟前修

复。

（三）扩散泵加热后，必须保证供给冷却水，随时注意水压。

（四）必须定期清洗真空室，特别是轰击棒必须保持清洁（清涂铝之外的其它金属或介质

沉积物）。

（五）进行离子轰击时，工件必须转动，并随时注意电流，电压的变化，使之保持在允许

值之内。

（六）工件烘烤时，工件必须转动，并随时注意烘烤电压和工件温度的变化情况。

（七）在使用电子枪蒸镀时必须严格执行电子枪操作规程。

（八）注意安全用电。出现故障时，非特殊情况不得带电检修。

（九）工件去膜、清洗、镀膜时操作谨慎，工作仔细，切忌草率马虎，以防止各类事故发

生。

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（一）这里所指的光学检测仪器包括WYKO移相干涉仪，shock哈特曼测量仪，shack干涉

仪，精密角度测量仪，非接触球径仪，1.2米平行光管、精密（德国）读数球径仪、平面

干涉仪及其它的干涉仪器。

（二）所有的光学检测仪器都是精密的，贵重的光学仪器，使用前一定要仔细阅读使用说

明或请已能熟练使用的人员指导。任何人未经培训和授权不可擅自移动和操作光学检测仪

器。对于全英文界面说明的仪器，除了遵守上述规定外还需具有工程师以上技术职称或硕

士以上学历者方可操作。其他人员使用必须在上述人员的指导下方可进行。

（三）使用仪器要按照操作说明书进行，对关键部件，例如干涉仪中的光学参考面，必须

保持清洁，严禁用任何东西接触，只允许用吹气球非接触清洁。

（四）要注意仪器的使用环境，特别是它的湿度和清洁程度，严禁在恶劣的环境下使用。

（五）仪器用毕要清洁、归位，并填写使用记录，包括使用日期、责任人、用途及仪器状

况等。

（六）仪器有了故障要及时报告镜面室和所业务办（必要时报所分管领导），根据故障出

现的状况确定维修办法，最好有仪器生产厂家负责维修。无法找到仪器制造厂家的应找有

相应资格的其它厂家修理，然后重新标定仪器状态并作状态标识。维修后无法恢复到正常

使用状态的应给予封存或作报废处理。

（七）干涉仪的状态精度在出厂时已确认，并有配备的已知精度的工件作不定期的仪器状

态检查。每隔三年必须比对或确认仪器状态精度，并填写《仪器定期校验记录》表。

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1．            概述

   为了保证光学零件 和/或 系统的技术参数和要求得到有效的监督和整个加工过程始终

处在受控状态，使最终研制的产品的光学质量满足合同所规定的要求，特制定本规程。本

规程是《光学镜面加工通用工艺》的支撑文件。

2．            适用范围

   本规程适用于镜面室所有的光学元件，它包括进货的光学毛坯材料，顾客提供的财

产，过程检验、成品检验 和/或 光学系统检验。

3．            引用标准

GB1185-89    光学零件表面疵病

GB2831-81    光学零件的面形偏差（口径≤250mm，面形为：球面、平面）

GB1031-83    表面粗糙度参数及其控制标准。

4．   检验程序

4.1   所有光学镜坯原材料和图纸，以及各道工序之间均要根据设计图纸和工艺文件要求

进行质量检验，在条件允许的情况下，操作者首先对自己加工的零件进行自检。自检合格

后再交检验员进行专检。未经检验的工件一律不得转入下道工序加工或入库。

4.2   进货检验（含顾客提供的财产和图纸）

4.2.1  顾客提供的图纸必须经有关的技术（工艺）人员进行审核，并在图纸空白处签字

或盖“准予生产”章，对于重大项目应由镜面室组织评审会，讨论决定，并填写《产品要

求评审表》。以明确镜面室有能力完成该项任务，或经过努力后（例如添置一些设备，改

进和制订专门的工艺等等）可以完成。

4.2.2  对镜面室所采用的镜坯原材料（进货）的检验

合同规定由镜面室提供镜坯材料时（含由此合同延伸出来的检验镜等镜坯材料），必须按

照合同提供的图纸的技术参数进行定货，并在定货合同中明确列出相关的技术指标，例如

材料的牌号、规格、等级，尺寸以及气泡度、条纹度、折射率、折射率均匀性、应力和热

膨胀系数等等。到货后要根据合同要求索要合格证和相关的技术参数的证明文件，对重要

的、会影响光学参数和质量的关键材料，还必需索要炉号、退火号等相关证明文件。对重

要的、会影响光学参数和质量的关键材料中不明确的参数和精度达不到图纸要求的参数

（例如折射率、应力和热膨胀系数等），必须请相关有资质的单位另行测定。用以确认所

提供的材料质量能满足合同图纸的要求。此外必须对进货的镜坯材料进行目测检验，查验

外型尺寸和是否有疵病和裂纹等外观毛病。填写《进货验证记录》。

4.2.3  对顾客提供的镜坯原材料的检验

    对顾客提供的镜坯原材料，在材料送达时对镜坯材料必须进行目测检验，查验外型尺

寸和是否有疵病和裂纹等外观毛病。并索要合格证和相关的技术参数的证明文件，对重要

的、会影响光学参数和质量的关键材料，还必需索要炉号、退火号等

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相关证明文件。对重要的、会影响光学参数和质量的关键材料中不明确的参数和精度达不

到图纸要求的参数（例如折射率、应力和热膨胀系数等），需向顾客提出，并协商请相关

有资质的单位另行测定，来补充证明。用以确认所提供的材料质量能满足合同图纸的要求。

4.3    过程检验

4.3.1   对于单块光学元件，过程检验包含粗磨检验、镀膜检验、出入库检验。

（普通尺寸单块球面镜的样板检验 和/或 干涉检验，放在产品光学质量的最终检验

中），检验用表为《工序过程单》。

4.3.2  粗磨检验

粗磨检验的内容和要求需根据光学零件图纸的工艺进行。

内容包括以下数项或全部：首先目测镜面有无损坏，然后用量具或器具测量外型（外径、

中孔、不通孔、减重孔、厚度、平台和台阶等）尺寸，曲率半径，边缘厚薄差，中心厚

度，所要求面与基准面的垂直和平行精度，被加工面的砂眼大小和均匀性，有无严重（下

道工序不能确定肯定能磨去）的道子和划痕等。

必须由专职的检验员或相关的技术人员检验然后填写检验单并签字，由镜面室存档备查。

对顾客所要求的关键和特殊的必须提供书面报告的尺寸，检测时镜面室主任 和/或 总工

程师，所业务办公室管质量的同志必须参加，在可能的情况下并可请顾客代表和有关专家

共同组成检测小组来共同完成。测试报告一式三份，加盖研究所章或业务办公室章后向顾

客提供一份，镜面室保留一份备查，业务办公室存档一份。

4.3.3  镀膜检验

对一般膜层的普通要求可用目视检验，对膜层牢固度的测试采用对测试片做胶带纸粘贴拉

撕试验， 若对膜层的透射率、反射率、透射和反射波段有特殊技术要求时，可委托相关

的有资质单位去测试并提供测试报告。

4.3.4     入库前的检验

光学零件入库前必须查验检验单或检验报告，并用目视法做外观检验，有无表面的疵病和

损害等。

4.3.5     出库前的检验

光学零件出库前必须由下道工序的接收者或顾客对产品用目视法做外观检验，确保无表面

的疵病和损害等。

4.4    产品光学质量的最终检验（成品检验）

4.4.1  产品光学质量的最终检验（成品检验）包括表面粗糙度和疵病的检验，普通尺寸

单块球面镜的样板检验 和/或 干涉检验，口径500毫米以上的球面镜的干涉检验，单块非

球面镜的补偿干涉检验，星点检验和光学系统象质的组合干涉检验或SHACK哈特曼检验

（至少也要用二维哈特曼检验），以及光学零件最终的表面疵病和粗糙度检验。用《成品检验记录》。

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4.4.2  表面粗糙度和疵病的检验

参见国家标准：GB 1031-83（等效ISO468—1982）。目前主要采用放大镜和倍率计等测量

器具（在添置购买了表面粗糙度测试仪后，用其比对测试得出）。并填写检验单和签字。

4.4.3     最终光学质量检验的指标和检测方法

镜面室所加工的光学元件和光学系统的光学质量指标为：①样板检验时的整体光圈N和局

部光圈ΔN；②被加工镜面偏离标准镜面的面形误差，用镜面的峰--谷误差（P—V）值或

20点峰--谷误差值，以及镜面的均方根误差值（RMS）；③单块非球面、离轴非球面、大

口径球面和整个光学系统的几何光学能量集中度 或星点弥散斑的尺寸。

整体光圈和局部光圈用目视法或拍下样板光圈图后测量计算。 峰谷误差和均方根误差主

要由干涉检验计算得出，或SHACK哈特曼（或二维哈特曼）的计算结果转换得出。几何光

学能量集中度主要由SHACK哈特曼（或二维哈特曼）的计算得出或由干涉检验的计算结果

转换得出。星点弥散斑的尺寸主要用星点检验后用读数显微镜测出或用CCD拍得后计算得出。

4.4.4  普通尺寸单块球面镜的样板检验 和/或 干涉检验

    用样板检验时，参见国家标准：GB 2831-81。并填写检验单和签字。

用干涉检验时，在条件可能满足的情况下，尽量采用进口的WYKO移相式波面干涉仪，并打

印出相关的检测报告和实际波面的干涉条纹图。其次可采用进口的SHACK波面干涉仪，经

CCD采样后测试并计算后给出相关的检测报告和实际波面的干涉条纹图。当然也可采用自

制的并经过比对鉴定的仪器进行测试并计算后给出相关的检测报告和实际波面的干涉条纹

图。后二种情况，检测和计算人员必须在检测报告上签字。

4.4.5  口径500毫米以上的球面镜的干涉检验

在条件可能满足的情况下，尽量采用进口的WYKO移相式波面干涉仪，并打印出相关的检测

报告和实际波面的干涉条纹图。其次可采用进口的SHACK波面干涉仪，经CCD采样后测试

并计算后给出相关的检测报告和实际波面的干涉条纹图。当然也可采用自制的并经过比对

鉴定的仪器进行测试并计算后给出相关的检测报告和实际波面的干涉条纹图。后二种情况，

检测和计算人员必须在检测报告上签字。检测报告必须经镜面室主任 和/或 总工程师，

所业务办公室管质量的同志参加讨论后确认，在可能的情况下并可请顾客代表和有关专家

共同组成检测小组来共同完成。

4.4.6  单块非球面镜的补偿干涉检验

   补偿系统的光学设计必须由他人验算校核，透射元件的光学材料必须经过选料和折射

率的精确测量。相关几何间隔在检验时必须根据精度要求复测。合同要求或必要时需用二

种补偿方法检验，互相验证，但以一种方法为主。

    在条件可能满足的情况下，尽量采用进口的WYKO移相式波面干涉仪，并打印出相关的

检测报告和实际波面的干涉条纹图。其次可采用进口的SHACK波面干涉仪，经CCD采样后

测试并计算后给出相关的检测报告和实际波面的干涉条纹图。

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    当然也可采用自制的并经过比对鉴定的仪器进行测试并计算后给出相关的检测报告和

实际波面的干涉条纹图。后二种情况，检测和计算人员必须在检测报告上签字。检测报告

必须经镜面室主任 和/或 总工程师，所业务办公室管质量的同志参加讨论后确认，在可

能的情况下并可请顾客代表和有关专家共同组成检测小组来共同完成。对补偿系统光学元

件的检测报告必须附在本检验报告后。

4.4.7  光学系统象质的组合检验       

根据合同的技术要求，需要进行组合检验的必须按其要求进行。

    对于合同的技术质量要求较低的，可在组合检验时仅用刀口仪检验。检验人员填写检验报告并签字。

   合同要求进行组合干涉检验的，在条件可能满足的情况下，尽量采用进口的WYKO移相

式波面干涉仪，并打印出相关的检测报告和实际波面的干涉条纹图。其次可采用进口的

SHACK波面干涉仪，经CCD采样后测试并计算后给出相关的检测报告和实际波面的干涉条

纹图。当然也可采用自制的并经过比对鉴定的仪器进行测试并计算后给出相关的检测报告

和实际波面的干涉条纹图。后二种情况，检测和计算人员必须在检测报告上签字。检测报

告必须经镜面室主任 和/或 总工程师，所业务办公室管质量的同志参加讨论后确认，在可

能的情况下并可请顾客代表和有关专家共同组成检测小组来共同完成。

合同要求进行组合检验后测算几何光学能量集中度的，可用SHACK哈特曼法或二维哈

特曼法来进行检验计算，其结果必须经他人复核。检测计算和复核人员都必须在检测报告

上签字。检测报告必须经镜面室主任 和/或 总工程师，所业务办公室管质量的同志参加讨

论后确认，在可能的情况下并可请顾客代表和有关专家共同组成检测小组来共同完成。

   合同要求进行星点检验或鉴别率检验的，则根据合同的检验要求约定，分别采用平行

光管光路、自准直光路。弥散圆的直径读取，鉴别率板上号数的判断必须有二人以上进

行，并取得一致。根据光路经过相应的换算得出最后的测试结果。计算需经他人复核。检

测计算和复核人员都必须在检测报告上签字。检测报告必须经镜面室主任 和/或 总工程

师，所业务办公室管质量的同志参加讨论后确认，在可能的情况下并可请顾客代表和有关

专家共同组成检测小组来共同完成。

附注：质量记录文件

表KY-7.02-01：产品要求评审表

表ZG-8.03-01: 进货验证记录

表ZG-8.03-02: 成品检验记录

表ZG-8.03-03: 工序过程单

表ZG-8.03-04: 一米以上光学镜面起吊记录

表ZG-8.03-05: 装箱检验记录

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（一）遵守《一般钳工》安全操作规程。

（二）检查设备之前，先切断电源，否则禁止检修。在检修设备过程中，严禁接通电源。

（三）在拆装机件时，应注意拆装的先后次序，防止机件下落伤人和弹簧崩出伤人。

（四）拆下的机件应尽量放在一起，并按规定安放整齐，不要乱放乱丢。

（五）多人拆卸移动设备时，应统一指挥协调，防止人身设备事故的发生。

（六）使用工具时，应按钳工常用工具安全操作规程，正确操作，使用设备时应严格遵守

设备的操作规程。

（七）清洗零件时，严禁吸烟、打火或进行其它的明火作业。组合装配需油煮时，必须用

机油，严禁使用汽油，煤油等易燃油类，并做好防火、灭火的准备工作。

（八）工作地点要保持清洁，油液污水不得流在地上，以防滑倒伤人。

（九）设备上的安全防护装置未安装好之前，不准试车，不准移交生产。

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（一）   镜面室的库房是指辅料库、模具库、工量具库、半成品库、成品库，具体管理工作

由行政管理辅助人员负责。

（二）各类库房必须做到帐目清楚、帐物相符。堆放有序、查找方便。

（三）领用材料、辅料必须有领用人根据实际需要登记后领用。

（四）使用模具、量具、工具、样板等，必须办理登记手续。不准私自带出实验室。若遇

损坏或丢失则照价赔偿，不及时归还者可以损坏论处，按价赔偿。

（五）半成品、成品的出库，必须经实验室主任（或指定负责的实验室副主任或主任助理）

在出库本上签字后方可领出。

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（一）    工作前应认真检查所用工具是否完好可靠不准超负荷使用。

（二）    装卸时应做到轻装轻放，重不压轻、大不压小、堆放平稳、捆扎牢固。

（三）    多人搬运同一物件时，要有专人指挥。

（四）    堆入镜坯或物体不可歪斜，高度要适当，不得将物件堆放在安全道内。

（五）    装卸时，应根据吊位变化，注意站立位置，严禁站在吊物下面。

（六）    用汽车装运物件时，不得超载，超高超长超宽。

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（一）   行车工需经训练考试，并持有操作证方能独立操作，未经专门训练和考试不得单独

操作。

（二）   开车前应认真检查设备机械、电器部份和防护保险装置是否完好、可靠，如控制器、

制动器、限位器、电铃、紧急开关等主要附件失灵，严禁吊运。

（三）必须听从挂钩起重人员的指挥，但对任何人发出的紧急停车信号，均应立即停车。

（四）行车应按说明书规定，按期对设备注油，并经常保持行车整洁。

（五）行车工必须在得到指挥信号后方能进行操作，起动时应先鸣铃。

（六）操作控制器手柄应先从“0”位转到第一档，再逐级增减速度，换向时，须先转回“0”位。

（七）当接近卷扬限位器，大小车临近终端时，速度要缓慢，严禁用倒车代替制动，限位

带停车，紧急开关代替普通开关。

（八）应在规定的安全走道、专用站台或扶梯上行走和上下，大车轨道两旁作检修外不准

行走，小车轨道上严禁行走。

（九）工作停歇时，不得将重物悬空停留。运行中，地面有人或在落放吊件时应鸣铃警

告。严禁吊物在人头上越过，吊物离地不得过高。

（十）检修行车应停靠在安全地点，切断电源并挂上“禁止合闸”的警告牌。地面要设围

栏，并挂“禁止通行”的标志。

（十一）重吨位物件起吊时，应先稍离地试吊，确认只挂平稳，制动良好，然后升高，缓

慢运行。不准同时操作三只控制手柄。

（十二）行车运行时，严禁有人上下。也不准在运行时进行检修和调整机件。

（十三）运行中发生突然停电，必须将开关手柄置于“0”位，起吊件未放下，或索具未

脱钩。不准离开驾驶室。

（十四）夜间作业，应有足够的照明。

（十五）行车工必须做到“十不吊”：

（1）  超过额定负荷不吊；

（2）  指挥信号不明，重量不明，光线暗淡不吊；

（3）  吊绳和附件捆缚不牢，不符合要求不吊；

（4）  行车吊挂重物直接进行加工的不吊；

（5）  歪拉斜挂不吊；

（6）  工件上站人或工件上浮放活动物品不吊；

（7）  氧气瓶、乙炔发生器等具有爆炸性的物品不吊；

（8）  带棱角快口未垫好不吊；

（9）  埋在地下的物体不吊；

（十六）  工作完毕，行车应停在固定位置，升起吊钩，小车开到轨道两端，并将控制手

柄放置“0”位，切断电源。

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（一）必须熟悉起吊工器具的基本性能和各种吊具、索具的最大允许负荷、报废标准，熟

练掌握指挥信号，并遵守行车工的“十不吊”。

（二）起吊工具要经常检查。确保完好可靠，并妥善保管，不准随地乱丢，不准超负荷使

用。

（三）起吊物件的指挥手势要清楚，信号要明确，不准带手套指挥。起吊大型重吨位物件

时，必须先试吊，离地不高于0.5米，经检查，确认稳善后方可起吊运行。

（四）起吊件必须捆缚平稳牢固，棱角快口部位应设衬垫，吊位应正确。起吊件翻身时要

掌握重心，注意周围人员动向。

（五）不准在起吊件下面停留、行车或站立。

（六）捆缚吊物件选择绳索夹角要适当，不得大于120度，遇特殊起吊时应用专用工具。

（七）多人吊运重物，应有专人指挥，不得远距离或不引路指挥吊物运行。

（八）吊装物件应按规定地点妥善堆放，不准将重物堆放在动力输送管、线上面或安全通

道上。

（九）行车挂钩统一手势：

1、  手心向上表示吊钩向上；

2、  手心向下表示吊钩向下；

3、  手心向前表示大车向前；

4、  手心向后表示大后向后；

5、  手心向, 左表示大车向左；

6、  手心向右表示大车向右；

7、  小指向上表示吊钩小起；

8、  小指向下表示吊钩小落；

9、  两手交叉表示停止；

10、起吊手势应有哨音信号配合。

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1.概述

    光学镜面加工工艺的确定，是依据某一产品的设计输出文件规定的技术参数和图样。

如：大球面、大平面，天文镜面及口径不等的非球面。对研制的、特定的或有特殊要求的

镜面工艺，应制定详细的加工工序卡，特制的工艺卡由高技术镜面实验室工艺员通过计算

机编写工艺。包括从粗磨到成品入库之前的整套工序。工艺卡必须有备份并存档到产品交

付后一年。本工艺只规定常规的光学镜面加工和检测。一米以上镜坯的起吊需通知研究所

负责安全的同志到现场监督。

本工艺对高技术镜面实验室研制光学镜面的过程策划和实施加工的重要环节提出了具体要

求，确保这些过程在受控状态下进行，以使最终研制的产品满足合同规定的要求。

2. 适用范围

   适用于本中心高技术镜面实验室常规的光学加工工序和检验。

3. 引用标准

GB1185-89    光学零件表面疵病

GB2831-81    光学零件的面形偏差（口径≤250mm，面形为：球面、平面）

GB1031-83    表面粗糙度参数及其数值标准

4. 工艺过程控制

4.1 玻璃镜坯选用原则

4.1.1 依据光学设计文件规定的光学参数选用。

光学玻璃镜坯选用时，严格依据光学设计文件的参数。主要的光学玻璃镜坯指标有：  

a.    气泡度：

b.    条纹度：

c.    折射率：

d.    应力：

e.    折射率均匀性：

4.1.2 光学玻璃镜坯一般为圆料、方料。供料合同或协议对供料的外形尺寸应有明确的控

制。余量一般控制在5～10mm。

4.2 粗磨

4.2.1 依据光学设计文件规定的外形尺寸和几何形状选用适宜的粗磨设备：

a. 外圆磨床机（口径≤320mm）

b. 30cm粗磨机

c. 60cm粗磨机

d. 摇臂开孔机

e. 500平面铣磨机

f. 切片机

g. 2.5米粗磨机

h. 1.6米粗磨机。

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4.2.2 粗磨辅助工具：磨盘（一次性使用）、组合工具磨盘（一次性使用）。

4.2.3 粗磨量具：测量环（91#、110#、150#、172#、200#）、游标卡尺、分离卡尺、中

心厚度测量仪、平行度测量仪、角度测量仪。每次使用前都必须校验零位。量具必须定期

校验。

4.2.4 镜坯粗磨

4.2.4.1 镜坯外形尺寸粗磨

首先用粗磨机或切片机加80#粗砂将粗毛坯粗磨成形到图纸名义尺寸上限加1至3mm的余

量。其次，用细金刚石砂轮或280#金刚砂精磨到图纸名义尺寸上、下公差带内送检。

4.2.4.2 镜坯光学加工面用80#粗金刚石砂轮或80#金刚砂粗磨成形，用光学测量环控制整

个光学加工面半径R的一致性和目检镜面砂眼的均匀性。同时对有边缘厚薄差（平行

度）、中心厚度要求的要用平行度测量仪、中心厚度测量仪进行控制。单面要留给下道砂

至图纸尺寸上限多1以上余量（注：图纸无中心厚度要求的除外）。

4.2.4.3 镜坯光学加工面粗磨换第二道120#砂，此道砂磨到用光学测量环控制整个光学加

工面半径R一致、对有边缘厚薄差（平行度）、中心厚度要求的要用平行度测量仪、中心

厚度测量仪进行控制（注：图纸无中心厚度要求的除外），最后，目检镜面砂眼的均匀性

并且镜面无任何划痕时准备换下道砂。单面要留给下道砂至图纸尺寸上限多0.50mm到

0.70mm余量（注：图纸无中心厚度要求的除外）。

4.2.4.4 镜坯光学加工面粗磨换第三道180#砂，此道砂磨到用光学测量环控制整个光学加

工面半径R一致、对有边缘厚薄差（平行度）、中心厚度要求的要用平行度测量仪、中心

厚度测量仪进行控制（注：图纸无中心厚度要求的除外），最后目检镜面砂眼的均匀性并

且镜面无任何划痕时准备换下道砂。单面要留给下道砂至图纸尺寸上限多0.30mm到0.50mm

余量（注：图纸无中心厚度要求的除外）。

4.2.4.5 镜坯光学加工面粗磨换第四道240#砂，此道砂磨到用光学测量环控制整个光学加

工面半径R一致、对有边缘厚薄差（平行度）、中心厚度要求的要用平行度 测量仪、中心

厚度测量仪进行控制（注：图纸无中心厚度要求的除外），最后目检镜面砂眼的均匀性并

且镜面无任何划痕时准备换下道砂。单面要留给下道砂至图纸尺寸上限多0.20mm到0.40mm

余量（注：图纸无中心厚度要求的除外）。

4.2.4.6 镜坯光学加工面粗磨换最后一道280#砂，此道砂磨到用光学测量环控制整个光学

加工面半径R一致、对有边缘厚薄差（平行度）、中心厚度要求的要用平行度测量仪、中

心厚度测量仪进行控制，最后目检镜面砂眼的均匀性并且镜面无任何划痕时准备送检。粗

磨结束时单面要留给细磨至图纸尺寸上限多0.15mm到0.35mm余量（注：图纸无中心厚度

要求的除外）。

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4.3 细磨、抛光

4.3.1 细磨用第一道280#砂，对粗磨成形的曲率半径、平行度、中心厚度在尺寸余量上作

精确的修改，用光学测量环控制整个光学加工面半径R一致，同时目检镜面砂眼均匀并且

镜面无任何划痕，此道砂结束时单面要留给下道砂至图纸尺寸上限多0.05左右余量（注：

图纸无中心厚度要求的除外）。

4.3.2 细磨用第二道砂302#砂，用光学测量环控制整个光学加工面半径R一致，同时目检

镜面砂眼均匀并且镜面无任何划痕到单面留给下道砂至图纸尺寸上限多0.1mm到0.25mm余

量（注：图纸无中心厚度要求的除外）。

4.3.3 细磨用最后一道303#砂，用光学测量环控制整个光学加工面半径R一致，同时目检

镜面砂眼均匀并且镜面无任何划痕，对非球面度大的镜面，此时可通过此道砂进行非球面

度的初步修改到单面留给抛光至图纸尺寸上限多0.01mm左右余量（注：图纸无中心厚度要

求的除外）。

   细磨工具：磨盘（一次性使用）、组合工具磨盘（一次性使用）外加金刚砂辅料。

4.3.4 抛光

a. 抛光是在细磨结束之后用氧化铈作辅料、柏油作磨面的抛光盘进行的；

b. 抛光初期，将细磨砂眼抛掉，并要达到技术图纸所要求的粗糙度，同时通过不断的抛

光修改镜面面形，使其达到技术图纸所要求的面形精度；

c. 送检。

5. 镀膜

5.1 增透膜

5.1.1 镀膜设备：DMDE—450   一台，DMDE¾1000  一台。

5.1.2 材料：氟化镁MgF2,折射率1.38（对波长l＝550nm），蒸发方法：钼舟。

5.1.3 镀膜前准备

a. 用醇醚混合液（1:1）清洗镜面；

b. 机器内部用酒精清洗，用吸尘器吸除灰尘。加膜料；

c. 镜子进真空罩，合上钟罩。

5.1.4 开机器

a. 抽真空，测低真空、开冷却水；

b. 加温镜子，离子轰击镜面，镜面旋转；

c. 20分钟后，停止轰击、停止旋转，继续抽真空到 4~5´10-5乇，温度升到300°C即可镀膜。并开始控制温度；

d. 镜面旋转，对钼舟加温，待MgF2完全熔化即打开挡板进行蒸镀。用目测法看镜面颜色

成蓝白色即可停止蒸镀；

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e. 关挡板，关真空计，关扩散泵，开始降温，待温度降到高于室温20°C后，打开钟罩，

取出镜子。

5.2  反射膜

5.2.1 镀膜设备：DMDE—450   一台，DMDE¾1000  一台。

5.2.2 材料：铝Al , 蒸发方法：钨丝。

5.2.3 镀膜前准备

a. 用醇醚混合液（1:1）清洗镜面；

b. 机器内部用酒精清洗，用吸尘器吸除灰尘。加膜料；

c. 镜子进真空罩，合上钟罩。

5.2.4 开机器

a. 抽真空，测低真空；

b. 离子轰击镜面，镜面旋转；

c. 20分钟后，停止轰击、停止旋转，继续抽真空到 4~5´10-5乇即可镀膜；

d. 镜面旋转，对钨丝加温，待铝完全熔化即打开挡板进行蒸镀。用目测法看镜面颜色成

银白色即可停止蒸镀；

e. 关挡板，关真空计，关扩散泵，打开钟罩，取出镜子。

5.3  送检。

6. 检验

6.1 检验原则

6.1.1 必须依据技术图纸和规定的技术参数检验。

6.1.2 工序之间的检验必须经检验合格后才能转序。

6.2 检验内容：粗磨后的检验、抛光后的检验、入库前的检验和出厂前的检验。

6.3 粗磨检验

6.3.1 粗磨检验根据工艺要求进行。

6.3.2 粗磨检验内容：外形（包括中孔）尺寸、磨面沙眼的大小和均匀性、镜身的厚度、

初始面与基准面的位置（包括平行、垂直）精度、初始面形矢高的深度。

6.3.3 首先进行目检，主要包括：砂眼粗细的均匀性、镜坯有无损坏、光学面有无划伤。

6.3.4 专检主要包括：技术图纸和下道工序要求的尺寸必须在粗磨完成的。如：外圆、中

孔、曲率半径（测量环）、边缘厚薄差（平行度）、中心厚度。具体操作要求是：必须有

技术人员或专检员检验，并且在检验的结果上签字。对用户所要求的关键和特殊尺寸结果

（如：外圆、中孔、垂直度、不圆度等等）提供检测报告的，质量管理处参与、高技术镜

面实验室总工程师参加、在可能的情况下有客户和专家参

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加所组成的检验小组来共同完成。最后有高技术镜面实验室对用户所要求的关键和特殊尺

寸的检验结果出具检测报告，一式三份。有质量管理处加盖印章后向用户提供一份、高技

术镜面实验室一份备查、质量管理处存档一份。

6.4 抛光检验

    主要包括：粗糙度和面形精度检验。

6.4.1 粗糙度检验，主要是参照国家标准。GB 1031-83(等效ISO468--1982)。目前主要用

倍率计作测量器具。

6.4.2 面形精度检验：

    用样板检验。参见国家标准：GB 2831-81。

    用光路检验，检测仪器可视检测光路的环境条件而定。在能用干涉仪器定量检验的光

路可直接用美国进口的WYKO干涉仪进行检验。并出具相关的检测报告。

在检测光路环境不能满足WYKO干涉仪器定量检验的情况下可用自制的并经比对鉴定过的

仪器进行面形精度检验。并出具相关的检测报告。检测报告一式三份。有质量管理处加盖

印章后向用户提供一份、高技术镜面实验室一份备查、质量管理处存档一份。

6.4.3 天文镜面检验的技术指标主要有：光浓度、峰谷差P-V、均方差RMS。

   其它反射面形精度指标主要是：峰谷差P-V、均方差RMS。

6.5 入库前的检验：

6.5.1 对膜层表面质量的外观检验。方法是目检。

6.5.2 出厂前的检验：出厂前检验主要外观质量的目检，并核对检测结果报告与图纸要求

指标的符合情况。

7. 包装、运输、贮存

7.1 包装

a. 光学镜面经检验合格后，用包装材料具有绒性的纸进行包装；

b. 外运包装依据运输方式外层采用纸箱或木箱包装；

c. 包装箱内附有产品合格证，检验证等或将有关文件资料当面或挂号邮寄给客户。

7.2 运输

光学镜面运输时，必须具备防震、防潮、防霉。

7.3 贮存

光学镜面贮存应符合防潮、防霉条件。

8. 合同有特殊要求的或科研项目

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8.1 对镜坯供给有特殊要求的合同

8.1.1 镜坯由用户提供的

a. 所有光学技术图纸的参数要求由用户负责，高技术镜面实验室在可能的情况下可以协

助用户对关键的、特殊的参数进行复查；

b. 在镜面加工过程中若是发现并经过证实因玻璃镜坯某些参数的不合格而造成产品不合

格的或使加工无法进行下去的最终结果造成直接经济损失的由用户承担责任。

8.1.2 由高技术镜面实验室采购的

a. 所有光学技术图纸的参数要求由高技术镜面实验室负责，用户在可能的情况下可以协

助高技术镜面实验室对关键的、特殊的参数进行复查；

b. 在镜面加工过程中若是发现并经过证实因玻璃镜坯某些参数的不合格而造成产品不合

格的或使加工无法进行下去的最终结果造成直接经济损失的有高技术镜面实验室承担责

任。

8.2 对研制项目的镜面和特殊的镜面加工制定特殊的加工工艺。

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（一）磨盘须用手上紧，节勿开机器上盘子，以避免主轴与磨盘卡死。

（二）切勿用湿手触及电器开关。

（三）每天上班前须将砂盘、台面和主轴丝杆上油、擦洗干净。

（四）主轴每月注黄油一次。

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（一） 使用前，导轨、注油孔上好油。

（二） 启动液压15分钟后机床空载运动15分钟。（室温低于10℃不宜操作）

（三） 工件装夹，切忌敲打，吃刀量与走刀量根据所磨工件尺寸大小选择，切忌超负荷。

（四） 经常修整砂轮，保持良好的切削性能，经常清理冷却液箱中的玻璃粉及更换冷却液。

（五） 用毕切断电源，整个机床擦拭干净，导轨及各注油孔注油。

（六） 严禁不熟悉机床性能者操作。

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（一） 使用前，将每个注油孔注油一次。

（二） 套料筒须上紧夹牢，校好同心，根据所套料工件尺寸大小选择转速（变速时，须

停机）。

（三） 切勿用湿手触及电器开关。

（四） 用毕切断电源。整个机床擦拭干净，将主柱、丝杆、导轨上油，所有注油孔注油。

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（一） 使用前，导轨、注油孔注油。

（二） 启动液压15分钟后空载转3-5分钟（无液压装置则直接空载运转3-5分钟）。

（三） 工件必须装夹牢固（包括真空吸夹、磁性吸夹及机械装夹），不得松动。

（四） 以工件最高点对刀，吃刀量与进刀量根据尺寸大小，材料软硬选择切忌超负荷。

（五） 经常修整砂轮，保持良好切削性能，经常清理冷却液箱子中的玻璃粉及更换冷却液。

（六） 用毕切断电源，整个机床擦拭干净，导轨及各注油孔注油。

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（一）   这里所指的工量器具是指受控的百分表、千分表、游标卡尺、分厘卡（含标准

棒）、内径仪、深度尺、块规等，以及（曲率半径的）测量环、测厚仪等。

（二）   工量器具的管理，有专人保管、领用人使用、登记时记上计量器具的校验状况

和有效期限日期。确保科研、生产中所使用的工量器具符合精度要求，保证产品质量、满

足顾客需要。

（三）   根据ISO9000质量认证的要求，要严格、定期进行计量器具的周期检定。所有计

量器具的使用必须在检定的有效期限内。

（四）   所有的工量器具使用时要仔细、小心、轻拿轻放，用毕必须清洁、抹干、上油。

（五）   曲率半径测量环的钢球磨损后，要卸下钢球，转一角度后重胶。在可能的情况

下，尽量采用比较测量以减少测量误差。

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（一）凡有操作室的电动葫芦吊车必须有专人操作，严格遵守行车工的有关安全操作规程。

（二）开动前应认真检查设备的机械、电器、钢丝绳、吊钩、限位器等，是否完好可靠。

（三）不得超负荷起吊，起吊时，手不准握在绳索与物件之间。吊物上升时严防撞顶。

（四）起吊物件时，必须遵守挂钩起重工安全操作规程，捆扎应牢固。在物件的棱角快口

处，应设垫衬保护。

（五）使用拖拉线电器开关启动，绝缘必须良好，正确按动电钮，注意站立位置。

（六）单轨电动葫芦在轨道转弯处或接近轨道尽头时，必须减速运行。

手动葫芦的操作规程是：

（一） 悬挂葫芦的构架必须牢固可靠。工作时葫芦的挂钩、销子、链条，刹车等装置必

须保持完好。

（二） 起吊用的葫芦，不准超负荷使用。

（三） 起吊物件时，除操作葫芦的人员外，其它人员不得靠近被起吊的物件。

（四） 起吊物件时，必须捆缚牢固可靠。吊具、吊索应在允许负荷范围。

（五） 用两个葫芦同时起吊一物件时，须有专有指挥。负荷应均匀分担，操作人动作要

协调一致。

（六） 放下物件时，必须缓慢轻放，不允许自由落下。

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